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高纯气体供应设备 位置:网站首页>> 产品中心 >>高纯气体供应设备
  • 特气供应设备-气瓶柜 GC

    -气瓶柜 Gas Cabinet 腐蚀性,毒性,可燃性,自然性气体使用的气体放置于管理设备。气瓶柜标准配置减压装置,自动切换,自动吹扫,真空发生器,终端过滤器,紧急切断,泄漏侦测,喷淋稀释,紧急关断,抽风故障报警,伴热,供应压力监测等自动安全装置。

  • 特气供应设备- 大宗气体供应系统(BSGS)

    -大宗气体供应系统(BSGS)是为大流量供应和大供应量气源而专门设计的,适用于T型气体钢瓶,Y型气体钢瓶,钢瓶集束或管式 拖車,气源经过减压、过滤后输送到下一级设备,输送过程中基本不影响气源的纯度和水氧含量。

  • 特气供应设备- 分流柜/盘 VMB/VMP

    -特气分流阀箱(VMB)是为气源分流而专门设计的,适用于一路或多路气源供应多路用气设备,输送过程中基本不影响气源的纯度和水氧含量。单支路出口气动阀控制设计使单路实现紧急切断时不影响其他管路的正常运行,最大程度保障生产的正常运行。

  • 特气供应设备- 特殊(低沸点)气体供应柜

    -特殊(低沸点)气体供应系统: TMA: PNC的TMA供应系统广泛应用于多机台晶圆背钝化工艺 POCl3:应用于扩散沉积 DEZn: P型掺杂源,运用于MOCVD生长 TEOS: 运用于LPCVD技术,以实现二氧化硅在SiC晶片表面的淀积。 DCS/ TCS:应用于化学气相沉积 多气体高精度混配设备。

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