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槽车+CCB+储罐/日用罐+CDM 供应系统


原液存放于槽车,经过槽车填充柜(CCB)输送到储存罐。再由供液设备将高纯化学品输送到日用罐。运行时供液柜把日用罐中的化学品经由VMB分配到各个用点。
所有组件全部安装在设备内部。
流量,用量,压力,液位等全方位自动监控连锁。确保稳定可靠的供液。
上位机采集历史消耗数据,给出可靠的充液,换桶提示。


用户现场实景照片

用户现场实景照片



用户现场实景照片



高精度化学品调配+供应系统
25% TMAH (原液)
2.38% TMAH (±0.01%精度)
0.4% TMAH( ±0.05%精度)


25% TMAH存放于原液罐。
通过调配柜配制成高精度2.38%浓度储存于日用罐。
高精度的在线式浓度计检测确保精度。
高精度温度检测来补偿温度对于浓度的影响。
独立的调配系统,独立的供应系统,独立的过滤和浓度监控系统。
高洁净度的无死角的取样系统,确保离线检测的可靠性。
远程监控系统,实时监控浓度曲线。
可选:双在线浓度监控。
可选:原液品质在线监控。
可选: 高精度流量监控。
可选:终端用点温度,浓度补偿。