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气瓶柜 Gas Cabinet
腐蚀性,毒性,可燃性,自然性气体使用的气体放置于管理设备。气瓶柜标准配置减压装置,自动切换,自动吹扫,真空发生器,终端过滤器,紧急切断,泄漏侦测,喷淋稀释,紧急关断,抽风故障报警,伴热,供应压力监测等自动安全装置。


标准配置
单瓶柜(1 工艺钢瓶)
双瓶柜 (1 工艺钢瓶 + 1 吹扫N2钢瓶)
双瓶柜 (2 工艺钢瓶)
三瓶柜(2 工艺钢瓶, 1 吹扫N2钢瓶)



特殊配置
大流量BSGS供应系统 (NH3 2000L)
TMA 供应系统
TEOS 供应系统
DEZ供应系统
TCS / DCS 供应系统
高精度气体混配系统