深耕战新-至纯科技

相关多元业务

围绕电子、生物、能源战新领域

无数创新成就无数电子产品，提升人类的生活质量。
过程，是先进的半导体工艺及设备材料工程将技术转化为产品的产业之路。

21世纪是生物科学的世纪。生物技术给人类以解决食品、药品、能源等挑战的希望。
过程，是先进的工程技术（基因工程、细胞工程、酶工程、发酵工程和蛋白质工程等）将技术转化为产品的产业之路。

双碳背景下，要摆脱化石能源的危机，必须要研究探索新能源局。
过程，是先进的工艺工程将技术转化为产品的产业之路。

电子
生物
能源

工艺-设备-材料，三位一体

至纯科技深耕电子、生物和能源领域20年，以响应用户从实验室到中试-中试到规模化生产过程中对于技术（工艺）实现的需求。我们最自豪的就是不仅实现用户今天的技术，还在不断帮助用户实现明日的技术。

至纯科技从创立的第一天开始，就是投身于为集成电路、光电、显示、光纤、光伏和生物技术等领域提供从工艺系统到工艺设备，以及工艺材料和工艺服务，20多年来见证了中国战略新兴产业的发展，同时也是持续的建设者。

全资及控股子公司

至纯集成
至微科技
至一电子
珐成浩鑫
波汇科技
至纯精密

上海至纯系统集成有限公司进入官网

至纯集成是至纯科技旗下国内领先并对标国际先进的高纯工艺系统整体解决方案提供商。至纯集成致力于为泛半导体产业提供工艺机台超高纯度介质系统，至今已经出货各类高纯特气设备和高纯化学品设备超过16000台，20多年来为各个FAB厂以及各类泛半导体领域提供干法和湿法工艺机台可靠的支持系统。

至微半导体（上海）有限公司网站建设中

至微科技是至纯旗下国内领先并对标国际先进的湿法设备提供商。至微科技为集成电路制造及泛半导体企业提供湿法工艺整体解决方案，解决方案包括湿法设备及湿法工艺开发服务等。公司的湿法设备有槽式和单片系列，覆盖支持逻辑、存储及化合物特色工艺等领域全系列湿制程工艺。

至一高纯电子材料（上海）有限公司网站建设中

至一电子专注于为集成电路制造行业客户提供ppb级超高纯电子大宗气体整厂供应服务。至一电子采用高可靠性、经济性的气体供应解决方案，设计、建造并运营大宗气站，通过成熟可靠的系统设计、以及卓越的现场运营管理，为客户持续提供可靠、稳定的电子级大宗气体供应。

珐成制药系统工程（上海）有限公司进入官网

珐成浩鑫致力于为生物制药、生物工程领域提供专业的洁净流体系统解决方案。多年来专注推动流体工艺技术突破和自主知识产权工艺装备的打造，实现高质量、可持续的洁净流体设备本土化制造之路。

上海波汇科技有限公司进入官网

波汇科技作为业内领先的智能感知及大数据算法解决方案和产品提供商，始终以科技创新为己任，专注于智慧物联尖端光电传感器、人工智能算法和智慧应用软件等关键技术的研究和开发。波汇科技聚焦三大核心市场：“智慧城市、智慧电力、智慧石化”，已形成完全自主研发、国内领先且具有国际竞争力的核心技术、产品、全面解决方案和商业运营模式。